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Products 日本日立(Hitachi)
超声波影像装置FineSAT是一种使用超声波非破坏性显现半导体、电子元器件、陶瓷、金属、树脂等内部孔洞、裂纹、剥离等缺陷图像的装置。其利用超声波碰到不同声波阻抗的材料时的反射原理,可检测出X光装置或光学显微镜无法检测的纳米级别的间隙。本装置配置了包括高速自动测量、自动判定功能和各种分析软件在内的丰富功能,已广泛应用于大量检查、研究、开发等各种用途。实现高速、高精度、高分辨率,提高操作性和安全性高精度、高分辨率利用高速性能可进行大批量检查丰富齐全的测量工具和分析软件丰富的扩展性大幅提高操作性和安全性高精度、高分辨率显示示意图即使细微的间隙也能检测配置有最高频率达500MHz的高灵敏度超声波装置,与高精度扫描仪组合使用可实现最小0.5μm的扫描间隔。即使是微小的缺陷也能检测出。从大范围到极小范围,涵盖多种多样的被检测样品最小扫描间隔可以实现0.5μm的高精度测量,而且通过1次测量,即可以以微小的间隔测量硅晶圆、JEDEC托盘等范围广泛的检测对象。另外,为了能涵盖从较厚尺寸到较薄尺寸的广泛测量对象,我们准备了从低频到高频、丰富齐全的探头系列可供选购。返回页首通过高速化实现大批量检查装备有最大扫描速度达1,000mm/s的扫描仪和连续自动测量、高速测量功能等可帮助在更短时间内完成测量的工具。只需轻轻点击图像索引即可测量,并可迅速进行评估和判定。更快、更便捷地处理可靠性更高的数据通过采用高速、高精度扫描仪及新型图像处理单元,可以在短时间(测量30mm见方的IC时,与本公司过去设备相比约缩短35%)内获得再现性高的数据。另外,在根据登录条件进行测量的图像索引,以及在连续自动测量多个被检测样品的网格扫描中,通过设定可自动补偿中心位置或样品高度参数的功能,从而提高了数据的可靠度。主体开口部较宽,利用升降机构可快速、方便地更换检测样品。丰富齐全的测量工具、分析软件波形、强度、深度等超声波数据...
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