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2015 - 03 - 26
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2015 - 03 - 09
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关于FEI     凭借在显微镜领域 60 多年的创新和领导力,FEI 提供业内最广泛的电子、离子、数字光学显微镜仪器、工作流程和应用专业知识。FEI 解决方案帮助全球客户解决问题、取得突破性发现、加速上市时间、获得有竞争力的优势。凭借电子、生命科学、材料科学和自然资源市场领域的丰富的解决问题的经验,FEI能够帮助客户从全新视角看待挑战,不论是小而简单的挑战...
2014 - 12 - 29
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瑞典皇家科学院宣布,将2014年诺贝尔化学奖授予埃里克·白兹格(Eric Betzig)、斯蒂芬·黑尔(Stefan W. Hell)和威廉·莫尔纳(William E. Moerner),以表彰他们为发展超高分辨率荧光显微镜所作的贡献。获奖理由很长时间以来,人们都认为光学显微技术无法突破一条极限:它永远不可能获得比所用光的半波长更高的分辨率,这被称为“阿贝衍射极限”...
2015 - 03 - 30
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2015年3月30日 ,徕卡纳米技术部专家莅临深圳市新则兴科技有限公司,为新则兴相关技术人员和市场人员全面培训徕卡电镜样品制备全套解决方案以及剖析各种电镜制样设备的功能特点和行业应用趋势,尤其是对超薄切片、组织处理、高压冷冻、镀膜、临界点干燥、机械研磨抛光、离子束研磨、冷冻断裂/复型及真空环境传输等各类技术手段进行了深入的阐述和研讨,培训取得了不错的效果并圆满完成。
2014 - 12 - 10
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资料图:中国材料学先驱颜鸣皋先生  颜鸣皋是我国材料科学的先驱、著名材料科学家、金属物理学家、一代宗师、中国航空钛合金创始人、我国航空材料的奠基人。新中国成立之初,颜鸣皋冲破阻挠回到祖国,把毕生精力献给了祖国的航空事业,为国防科技工业做出了卓越贡献。颜鸣皋致力于材料科学研究和航空材料技术体系建设,在钛合金、高温合金、铝合金、先进非金属材料、复合材料、疲劳断裂与寿命分析等领域取得丰硕成果,...
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Products 产品详情
产品名称: 超声波影像装置FineSAT Ⅲ
上市日期:2016-12-08
  • 超声波影像装置FineSAT Ⅲ 超声波影像装置FineSAT Ⅲ
  • 产品参数
  • 适用范围
  • 说明
  • 产品描述
  • 参数配置

超声波影像装置FineSAT Ⅲ : 规格、尺寸

FS100Ⅲ/FS200Ⅲ/FS300Ⅲ


规格


 FS100ⅢFS200ⅢFS300Ⅲ
探头频率[MHz]5-755-1405-300
最高频率[MHz]500
有效行程(X×Y×Z)[mm]350×350×80
最大扫描速度[mm/s] 1,000
外形尺寸(W×H×D)[mm]1,590×1,340×940
重量 [kg]约380
电源(电压/电流/频率)AC100V/15A 50/60Hz

※ 关于不足5MHz的探头,请咨询为盼。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ


测量对象、适用领域

  • CSP的凸块互连、底层填料孔洞检查

  • 树脂的填料观察、流动观察检查

  • 电子元器件、陶瓷零件的层间、裂纹检查

  • 硅晶圆粘合界面检查

  • 金属零件焊锡部的剥离、孔洞检查

  • 车载半导体


超声波影像装置FineSAT是一种使用超声波非破坏性显现半导体、电子元器件、陶瓷、金属、树脂等内部孔洞、裂纹、剥离等缺陷图像的装置。其利用超声波碰到不同声波阻抗的材料时的反射原理,可检测出X光装置或光学显微镜无法检测的纳米级别的间隙。本装置配置了包括高速自动测量、自动判定功能和各种分析软件在内的丰富功能,已广泛应用于大量检查、研究、开发等各种用途。


实现高速、高精度、高分辨率,提高操作性和安全性

高精度、高分辨率

超声波影像装置FineSAT Ⅲ
显示示意图

即使细微的间隙也能检测

配置有最高频率达500MHz的高灵敏度超声波装置,与高精度扫描仪组合使用可实现最小0.5μm的扫描间隔。即使是微小的缺陷也能检测出。

从大范围到极小范围,涵盖多种多样的被检测样品

最小扫描间隔可以实现0.5μm的高精度测量,而且通过1次测量,即可以以微小的间隔测量硅晶圆、JEDEC托盘等范围广泛的检测对象。另外,为了能涵盖从较厚尺寸到较薄尺寸的广泛测量对象,我们准备了从低频到高频、丰富齐全的探头系列可供选购。

通过高速化实现大批量检查

装备有最大扫描速度达1,000mm/s的扫描仪和连续自动测量、高速测量功能等可帮助在更短时间内完成测量的工具。只需轻轻点击图像索引即可测量,并可迅速进行评估和判定。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

更快、更便捷地处理可靠性更高的数据

通过采用高速、高精度扫描仪及新型图像处理单元,可以在短时间(测量30mm见方的IC时,与本公司过去设备相比约缩短35%)内获得再现性高的数据。另外,在根据登录条件进行测量的图像索引,以及在连续自动测量多个被检测样品的网格扫描中,通过设定可自动补偿中心位置或样品高度参数的功能,从而提高了数据的可靠度。主体开口部较宽,利用升降机构可快速、方便地更换检测样品。

丰富齐全的测量工具、分析软件

波形、强度、深度等超声波数据的分析软件得到进一步发展提高,高频、透射法探头等测量工具得到进一步充实完善。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

利用不断发展提高的分析软件,可进行详细评估分析

波形分析、测量、剥离判定、深度信息等分析软件得到进一步发展提高。 可对±相位、绝对强度、深度数据进行实时比较,在波形重叠显示中,即使时间轴不同,也可自动调整时间轴并保存数据。另外,还能进行独特的像素间插补处理或自动对比度调节等,毫不费力地获得更易观察的数据。此外,作为标准配置,在可读取全部点阵波形的实时三维(三维扫描)功能和多闸门功能中,最多可设定64个闸门,可以统一保存各闸门内数据(探伤条件等),并可将图像数据保存为1个文件。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

可测量距离、时间和强度,并可对波形重叠显示等波形进行分析。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

可同时显示反射强度和深度的对应曲线,并进行综合评估。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

可对±相位、绝对强度、深度、极性强调等进行实时比较分析。


各种扩展性

丰富齐全的探头系列

根据测量条件,从低频到高频,备有70多种丰富齐全的探头系列。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

适用各种各样的检测样品

利用水槽的升降功能,不用湿手即可更换检测样品。可同时利用反射法/透射法进行测量及图像化。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

多种多样的外围设备

例如,为了提高高频灵敏度的温控装置、以及双显示屏等。

大幅提高操作性和安全性

通过配置两侧的大型窗口、LED照明、探头识别功能(根据不同的机型,有些作为标准配置)、电源开关的保护盖、可拆卸的正面透明面板以及各种传感器等,可以更方便、更安全地进行作业。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ
FS300Ⅲ各部分的详细情况

采用较宽的开口部,提高了安全性

考虑到检测样品的取放,开口部一直扩大到上部。在整个开口区域装有区域传感器,作为标准配置,配置有紧急停机按钮、漏水传感器、门传感器、钥匙开关等安全装置。另外,在FS200Ⅲ、FS300Ⅲ还配置了探头自动识别功能。

全面支持各种作业需求

配置了便于固定检测样品的磁性板、日常检查中不可或缺的标准试片等。
除此之外,在软件方面还设有帮助功能等,可周到细致地全面满足用户的作业需求。

追求使用方便性与安全性

通过设置两侧的大型窗口、LED照明、电源开关的保护盖、可拆卸的正面透明面板以及各种传感器等,可以更加方便、安全地进行作业。另外,利用探头的自动识别功能可防止因误设定而可能导致的探头损坏。

超声波影像装置FineSAT Ⅲ


主要特点

从设定到测量、分析、评估等使用方便的丰富功能,可高速、且高精度的进行大量检查。

以过去的约135%的速度实现探伤图像数据的高速图像化

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

  • 通过采用原始图像处理单元以及高速、高精度扫描仪(最高速度:1,000mm/s、最小间隔:0.5μm),最快可以以135%的速度显示具有高再现性的探伤图像数据 *1。可大幅缩短评估样品的试验时间。

*1 与本公司30mm见方的IC的比较数据

可同时使用透射法和反射法进行探伤

超声波影像装置FineSAT Ⅲ
 

  • 不仅可同时使用反射法和透射法等超声波探伤法进行探伤,还可分别设定两种探伤法的探伤条件(灵敏度、闸门)进行探伤和图像化。

标准配置丰富的分析软件

超声波影像装置FineSAT Ⅲ

  • 在最大可设定64个闸门的设定功能中,可统一保存各闸门内的探伤数据。


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  • 发布时间: 2016 - 12 - 08
    超声波影像装置FineSAT是一种使用超声波非破坏性显现半导体、电子元器件、陶瓷、金属、树脂等内部孔洞、裂纹、剥离等缺陷图像的装置。其利用超声波碰到不同声波阻抗的材料时的反射原理,可检测出X光装置或光学显微镜无法检测的纳米级别的间隙。本装置配置了包括高速自动测量、自动判定功能和各种分析软件在内的丰富功能,已广泛应用于大量检查、研究、开发等各种用途。实现高速、高精度、高分辨率,提高操作性和安全性高精度、高分辨率利用高速性能可进行大批量检查丰富齐全的测量工具和分析软件丰富的扩展性大幅提高操作性和安全性高精度、高分辨率显示示意图即使细微的间隙也能检测配置有最高频率达500MHz的高灵敏度超声波装置,与高精度扫描仪组合使用可实现最小0.5μm的扫描间隔。即使是微小的缺陷也能检测出。从大范围到极小范围,涵盖多种多样的被检测样品最小扫描间隔可以实现0.5μm的高精度测量,而且通过1次测量,即可以以微小的间隔测量硅晶圆、JEDEC托盘等范围广泛的检测对象。另外,为了能涵盖从较厚尺寸到较薄尺寸的广泛测量对象,我们准备了从低频到高频、丰富齐全的探头系列可供选购。返回页首通过高速化实现大批量检查装备有最大扫描速度达1,000mm/s的扫描仪和连续自动测量、高速测量功能等可帮助在更短时间内完成测量的工具。只需轻轻点击图像索引即可测量,并可迅速进行评估和判定。更快、更便捷地处理可靠性更高的数据通过采用高速...
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